9/23/2023 4:42:42 PM
- صفحه اصلی
لایه نشانی
ساختار لایه
ضخامت سنجی
روشهای فیزیکی PVD
اسپاترینگ
روش MBE
تفنگ الکترونی
مقاومتی
روشهای شیمیاییCVD
CVD
MOCVD
PECVD
تمیزکاری نمونه
تمیزکاری چیست؟
آماده سازی داخلی
تمیزکاری شیشه
تمیزکاری ویفر سیلیکون
خلاء
پمپ های خلاء
پمپ روتاری
پمپ کرایوجنیک
پمپ توربومولکولار
پمپ دیفیوژن
فشارسنج خلاء
گیجهای یونی
گیج پیرانی
تاریخچه گیج خلاء
آنالیز
آنالیز پرتو باردار
برهمکنش الکترونی
میکروسکوپ الکترونی
میکروسکوپ TEM
SEM
آنالیز RBS
آنالیز SIMS
آنالیزپرتوایکس
آنالیز XRD
آنالیز XPS
آنالیزپرتو نور
آنالیزSpectrophotometery
آنالیزEllipsometer
میکروسکوپهای روبشی
درباره میکروسکوپهای SPM
میکروسکوپ روبشیAFM
میکروسکوپ روبشیSTM
میکروسکوپ روبشیSNOM
نرم افزارآنالیز
دانلود
فیلم آموزشی
فیلم در یوتیوب
کتاب
سایتهای مرتبط
معرفی کتب
کتب الکترونیکی
دانشگاههای ایران
سایتهای علمی
سمینارها
شرکتهای معتبر
شرکتهای معتبرداخلی
شرکت معتبر خارجی
لایه نشانی
شرکت اپتیکی
شرکت خلاء
ارتباط با ما
نظرات شما
فرم عضویت
ارسال فایل
درباره ما
آنالیزهای
سطح و
لایه نازک
برهم کنش بین ذرات باردار
با لا
یه نازک
برهم کنش بین
پرتو ایکس
با
لایه نازک
برهم کنش بین
پرتو نور
با لایه نازک
میکروسکوپ الکترونی
روبشی
SEM
میکروسکوپ الکترونی عبوری
TEM
میکروسکوپ پروبی روبشی
SPM
میکروسکوپ پروبی روبشی
AFM
میکروسکوپ روبشی تونلینگ
STM
آ
نالیز سطح و لایه به روش
SIMS
آ
نالیز
سطح و لایه به روش RBS
آنالیز
سطح و لایه به روش XRD
آنالیز
سطح و لایه به روش XPS
آ
نالیزطیفی به روش بیضی سنجی
آنالیز
طیفی به روش اسپکتروفتومتر
لایه نشانی و پارامترهای آن
ساختار تشکیل لایه
روش
تفنگ الکترونی E_Beam Gun
روش
تبخیر
مقاومتی Resistant Ev
روش
کندوپاش Sputtering
لایه نشانی به روش
لیرزی PLD
لایه نشانی به روش
MBE
لایه نشانی شیمیایی CVD
لایه نشانی شیمیایی
PECVD
لایه نشانی شیمیایی
MOCVD
درباره خلاء
پمپ روتاری Rotary Pump
پمپ توربومولکولارTurbomolecular
پمپ کرایوجنیک Cryojenic Pump
پمپ
دیفیوژن Diffusion Pump
تاریخچه فشارسنج های نخستین
فشارسنجهای محدوده خلاء پایین
فشارسنج یونی
کاتد سرد و گرم
کنترل ضخامت
ضخامت سنجی اپتیکی
ض
خامت سنجی کریستالی
QCM
TURBOMOLECULAR PUMP
پمپ توربومولکولار
یکی دیگر از متداول ترین پمپ های خلأ بالا پمپ های توربومولکولار می باشند كه امروزه، تقريباً به صورت بارزي جايگزين پمپ هاي پخشي در بسياري از سامانه هاي خلأ شده اند. اين پمپ علاوه بر سرعت پمپاژ بالا، به دليل عدم استفاده از روغن، بسيار تميز و در عين حال بسيار حساس مي باشد.
شكل1 نمونه اي از اين پمپ ها در اندازه های مختلف (ساخت شركت واريان) را نشان مي دهد. در این پمپ ها، همان طور که در شکل 2، نشان داده شده است از یک سری پره های چرخان به عنوان روتور و یک سری پره های ایستا به نام استاتور استفاده می شود که بصورت متوالی و زوجی، گاهي در مجموعه های10تایی و کاملاً شبیه موتور جت توربین قرار گرفته اند. روتورها بوسیله یک موتور داخل پمپ تا سرعت های بیش از rpm 27000 می چرخند. وظیفه این پره ها انتقال اندازه حرکت به مولکول های گاز می باشد.
شکل1:
نمايي از پمپ های مختلف توربومولكولار
اگر مسیر پویش آزاد میانگین مولکولی (MFP) ذرات بیشتر از فاصله بین روتور و استاتور باشد برخورد ذرات به پره های روتور نسبت به برخوردهای بین مولکولی بيشينه شده و در نتیجه سرعت پمپ بیشتر می شود. در نتیجه یک جریان بسیار متراكم از مولکول های گاز را موجب می شوند. اندازه این پمپ ها کوچک بوده و همیشه برای انجام فرآیند پمپاژ محفظه نیاز به یک پمپ زبر دارند. این پمپ ها برای سیستم های کندوپاش که در آن مقادیر زیاد گاز به کار رفته به پمپ های پخشی آسیب می رساند، بسیار مناسب اند. میزان خلأ این پمپ ها مانند پمپ های پخشی می باشد و تا 6-10 پاسكال می رسد. همچنین دارای سرعتی بین 1/s 50 تا 1/s 3500 می باشند.
شکل2:
نمای شماتيك از الف )چگونگي حركت پره ها در پمپ توربو مولکولار ب) شكل پره های یک پمپ توربو مولکولار
منبع : کتاب مبانی لایه نشانی و آنالیز نانو ساختار تالیف آقای جهانبخش مشایخی، انتشارات مرکز نشر دانشگاهی
فیلم آموزشی در موردپمپ های توربومولکولار