9/23/2023 6:17:15 PM
- صفحه اصلی
لایه نشانی
ساختار لایه
ضخامت سنجی
روشهای فیزیکی PVD
اسپاترینگ
روش MBE
تفنگ الکترونی
مقاومتی
روشهای شیمیاییCVD
CVD
MOCVD
PECVD
تمیزکاری نمونه
تمیزکاری چیست؟
آماده سازی داخلی
تمیزکاری شیشه
تمیزکاری ویفر سیلیکون
خلاء
پمپ های خلاء
پمپ روتاری
پمپ کرایوجنیک
پمپ توربومولکولار
پمپ دیفیوژن
فشارسنج خلاء
گیجهای یونی
گیج پیرانی
تاریخچه گیج خلاء
آنالیز
آنالیز پرتو باردار
برهمکنش الکترونی
میکروسکوپ الکترونی
میکروسکوپ TEM
SEM
آنالیز RBS
آنالیز SIMS
آنالیزپرتوایکس
آنالیز XRD
آنالیز XPS
آنالیزپرتو نور
آنالیزSpectrophotometery
آنالیزEllipsometer
میکروسکوپهای روبشی
درباره میکروسکوپهای SPM
میکروسکوپ روبشیAFM
میکروسکوپ روبشیSTM
میکروسکوپ روبشیSNOM
نرم افزارآنالیز
دانلود
فیلم آموزشی
فیلم در یوتیوب
کتاب
سایتهای مرتبط
معرفی کتب
کتب الکترونیکی
دانشگاههای ایران
سایتهای علمی
سمینارها
شرکتهای معتبر
شرکتهای معتبرداخلی
شرکت معتبر خارجی
لایه نشانی
شرکت اپتیکی
شرکت خلاء
ارتباط با ما
نظرات شما
فرم عضویت
ارسال فایل
درباره ما
فیلمها ومطالب آموزشی
آنالیزهای
سطح و
لایه نازک
برهم کنش بین ذرات باردار
با لا
یه نازک
برهم کنش بین
پرتو ایکس
با
لایه نازک
برهم کنش بین
پرتو نور
با لایه نازک
میکروسکوپ الکترونی
روبشی
SEM
میکروسکوپ الکترونی عبوری
TEM
میکروسکوپ پروبی روبشی
SPM
میکروسکوپ پروبی روبشی
AFM
میکروسکوپ روبشی تونلینگ
STM
آ
نالیز سطح و لایه به روش
SIMS
آ
نالیز
سطح و لایه به روش RBS
آنالیز
سطح و لایه به روش XRD
آنالیز
سطح و لایه به روش XPS
آ
نالیزطیفی به روش بیضی سنجی
آنالیز
طیفی به روش اسپکتروفتومتر
لایه نشانی و پارامترهای آن
ساختار تشکیل لایه
روش
تفنگ الکترونی E_Beam Gun
روش
تبخیر
مقاومتی Resistant Ev
روش
کندوپاش Sputtering
لایه نشانی به روش
لیرزی PLD
لایه نشانی به روش
MBE
لایه نشانی شیمیایی CVD
لایه نشانی شیمیایی
PECVD
لایه نشانی شیمیایی
MOCVD
درباره خلاء
پمپ روتاری Rotary Pump
پمپ توربومولکولارTurbomolecular
پمپ کرایوجنیک Cryojenic Pump
پمپ
دیفیوژن Diffusion Pump
تاریخچه فشارسنج های نخستین
فشارسنجهای محدوده خلاء پایین
فشارسنج یونی
کاتد سرد و گرم
کنترل ضخامت
ضخامت سنجی اپتیکی
ض
خامت سنجی کریستالی
QCM
فشارسنج های خلاء پایین
فشار سنج پیرانی Pirani gauges
بايد اذعان داشت كه ساخت فشار سنجي كه بتواند محدوده هاي مختلف فشار را با دقت كافي نشان دهد، امكانپذير نيست.
کاربردهاي گسترده خلأ، در نهایت منجر به ساخت فشار سنج های متنوعي شد که به شکل ساده تر و کامل تر بتوانند نيازهاي كاربران را برطرف كنند. بدين ترتيب كه هر كدام براي شرايط محيطي خاص و براي محدوده خاصي از مقدار خلأ طراحي و ساخته شدند. از مهم ترين آنها مي توان به فشار سنج هاي پيراني، پنينگ، مك لئود و ترموكوپلي اشاره نمود.
در شکل1 تعدادی از این فشارسنج ها، بر اساس محدوده فشاری قابل اندازه گیری نشان داده شده است. از جمله این فشارسنج ها می توان به فشارسنج های هدایت گرمایی اشاره نمود. این فشارسنج ها بر اساس این واقعيت شکل گرفته اند که انتقال گرما توسط یک گاز، با فشار آن گاز مرتبط است.
در این نوع فشارسنج ها، عبور جریان از داخل فیلامان(به عنوان حسگر) آن را گرم می کند. قسمتی ازگرمای فیلامان به مولکول های گازهای اطراف منتقل می شود که با محاسبه افت گرمای حاصل از انتقال گرما به مولکول های گاز، مقدار فشار داخل محفظه اندازه گیری می شود.
فشارسنج پیرانی، یکی از متداول ترین فشارسنج های هدایت گرمایی است که در آن از فیلامان پلاتینیوم، نیکل و یا تنگستن استفاده می شود. فشار سنج پیرانی بر اساس وابستگی مقاومت یک سیم گرم شده به درجه حرارت آن سیم، طراحي و ساخته شده است. اين فشارسنج ها، برای اندازه گیری فشار تا حدود2-10 پاسكال مورد استفاده قرار می گیرند.
شکل1:
محدوده اندازه گیری برای فشارسنج های مختلف
فیزیک اندازه گیری فشار در این فشار سنج ها، بر اساس اندازه گیری مقاومت فيلامان به روش پل وتسون بنا نهاده شده است. مطابق شکل2، دو فیلامان به عنوان دو بازوی پل وتسون استفاده می شوند. فیلامان مرجع در یک فشار گاز ثابت قرارداده شده و فیلامان اصلی فشارسنج(به عنوان حسگر) در داخل سیستم خلأ در معرض گازهای داخل محفظه قرار می گیرد. هر دو فیلامان در اثر عبور جريان گرم می شوند.
شکل2: فشارسنج پیرانی،1-مقاومت مرجع، 2-مقاومت فشارسنج، 3-فیلامان
گرمای ایجاد شده به صورت تشعشعی و يا اثر همرفتي به گاز اطراف فیلامان منتقل می شود. با اندازه گیری ولتاژ دو سر سیم و جریان داخل سیم و با استفاده از رابطه پل وتسون برای مقاومت ها، مقاومت فیلامان فشارسنج بدست می آید و با توجه به اینکه مقاومت سیم تابعی از دما می باشد و تغییرات دما نیز تابعی از فشار داخل محفظه است، در نهایت فشار گاز محفظه قابل محاسبه می باشد. البته مقاومت اندازه گیری شده فیلامان به صورت غیر خطی با فشار تغییر می کند. این فشارسنج ها توسط شخصی به نام مارسلو پیرانی ساخته و به نام ایشان به ثبت رسید.
فشار سنج ترموکوپلی (Thermocouple gauge) و ترمیستوری مانند فشارسنج پیرانی کار می کنند به جز آنکه در این فشارسنج ها، فشار بصورت مستقیم و بر اساس تغییر درجه حرارت سیم اندازه گیری می شود. محدوده قابل تشخیص توسط این فشارسنج ها در حدود 102-1-10 پاسكال است. شكل3، نمای شماتیکي از يك فشارسنج ترموکوپلی را نشان مي دهد.
شکل3:
نمای شماتیک فشارسنج ترموکوپلی ،1-ترموکوپل، 2-فیلامان گرم شده، 3و4- میلی ولت متر، 5-فیلامان، 6-اتصال ترموکوپل
منبع : کتاب مبانی لایه نشانی و آنالیز نانو ساختار تالیف آقای جهانبخش مشایخی، انتشارات مرکز نشر دانشگاهی
فیلم آموزشی در مورد فشارسنج خلاء پایین