معرفی کتاب :
مبانی لایه نشانی و آنالیز نانوساختار
مطابق آنچه در مقدمه آمده است، مهمترين هدف مولف از تهيه كتاب فوق الذکر، کمبود يك كتاب كاربردي براي
علاقمندان به حوزه لايه نازك بوده است. از اين رو تلاش شده
است كه با پرهيز از ارائه مطالب غير كاربردي و غير ضروري، كتابي مفهومي و
كاربردي براي علاقمندان به اين حوزه و به طور مخصوص دانشجويان كارشناسي و
كارشناسي ارشد فيزيك، مواد و برق و الكترونيك و صنعت گران علاقمند كه زمينه
فعاليت آنها در حوزه لايه نازك مي باشد، ارائه گردد. به گونه اي كه خواننده با مطالعه هر بخش بتواند درك كاملي از لايه نشاني و آنالیز لایه داشته باشد.
در فصل اول، بررسی سیستم خلأ، نحوه ايجاد خلأ و روش هاي اندازه گيري خلأ، مورد توجه قرار گرفته است. در فصل دوم با بررسي ساختار لايه نازك تلاش شده است تا شناخت كاملي از مدهاي رشد لايه، خواص مكانيكي لايه و ارتباط بين آنها و همچنين ضخامت سنجي لايه، در ذهن خواننده ایجاد شود. در فصل سوم نیز روش هاي متداول لايه نشاني فيزيكي مانند لايه نشانی تبخیری، کندوپاش، لایه نشانی لیزری و انواع مختلف لایه نشانی شیمیایی، به تفکیک تشریح شده اند.
در فصل چهارم، فرایند ساخت فیلترهای اپتیکی با استفاده ار فناوری لایه نازک مورد توجه قرار گرفته است که يكي از جذاب ترين و كاربردي ترين محصولات در فن‌آوري لايه نازك به شمار می رود. در فصل پنجم نيز آناليزهاي مهم سطح و لایه نازک مانندTEM SEM، Ellipsometery،RBS، SIMS، XPS و XRD تشریح شده اند.تلاش شده تا آناليزهاي مورد مطالعه، با نگاهي متفاوت از آنچه در ديگر كتب مشاهده مي شود، مورد بررسي قرار گيرند. بدين ترتیب كه در ابتدا تکنیک مورد استفاده در این آنالیزها در غالب سه گروه ( بر اساس برهم كنش بين ذره باردار، پرتو ایکس و یا پرتو نور با سطح لايه نازك)، مورد بررسی قرار گرفته و در ادامه، ساختار و عملکرد آنها با توجه به تقسیم بندی آنها، به تفکیک تشریح شده اند...